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硅片級劃片槽的封裝方法

904   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:02:33
本發(fā)明公開(kāi)了一種硅片級劃片槽的封裝方法,包括:將在晶圓的芯片的陣列中工藝監控圖形一分為二,將一分為二所述的工藝監控圖形分別放入到劃片槽的兩側,再通過(guò)劃片機在劃片槽內進(jìn)行封裝劃片,使裂片易于被發(fā)現,降低終端使用時(shí)失效的概率,晶圓在進(jìn)行硅片級封裝產(chǎn)品加工過(guò)程中,相鄰的兩顆芯片之間形成一劃片槽,設計方法進(jìn)一步包括。本發(fā)明解決了現有的在最終封裝劃片的時(shí)候容易造成芯片裂片,硅片級封裝產(chǎn)品是測試后再劃片,由于劃片后沒(méi)有終測,目前的劃片槽結構中由于存在工藝監控用的圖形,往往會(huì )造成劃片過(guò)程中的裂片,裂片很難被發(fā)現,在終端使用時(shí)候會(huì )有一定概率失效的問(wèn)題。
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“硅片級劃片槽的封裝方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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