本實(shí)用新型公開(kāi)了一種背面微光顯微鏡用裝置,該裝置包括:包裝體、引腳、芯片固定裝置和透光玻璃;所述包裝體分為上部、中部、底部,上部和中部之間設有引腳,中部放置芯片,底部放置透光玻璃,中部位置設有芯片固定裝置,所述的透光玻璃位于芯片的反面。采用本實(shí)用新型背面微光顯微鏡用裝置,可以從裝置體背面直接抓取亮點(diǎn),且可以實(shí)現多通道復雜向量施加,并且可以重復使用,方便快捷,可在集成電路失效分析以及封裝等方面發(fā)揮積極作用。
聲明:
“背面微光顯微鏡用裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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