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TSV結構電擊穿壽命測試方法、裝置、系統和控制設備

1184   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:19
本申請涉及一種TSV結構電擊穿壽命測試方法、裝置、系統和控制設備；所述方法包括在第一個溫度循環周期內，通過信號采集設備采集待測TSV矩陣晶圓樣品在初始電壓下的初始漏電流；第一個溫度循環周期為控制溫度調節設備調節待測TSV矩陣晶圓樣品的測試環境溫度循環變化的第一個周期；在初始漏電流小于或等于預設值時，控制電源設備以初始電壓為起點逐漸增大施加在待測TSV矩陣晶圓樣品上的電壓，并通過信號采集設備實時采集待測TSV矩陣晶圓樣品的當前漏電流；在當前漏電流滿足失效判據時，獲取電源設備調節電壓的總時長，并將總時長確認為待測TSV矩陣晶圓樣品的失效時間，實現高效準確地測試TSV結構的壽命性能，實現高效準確地測試TSV結構的電擊穿可靠性。
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