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便于可靠性測試的階梯式通孔鏈結構

1109   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本實用新型提供了一種便于可靠性測試的階梯式通孔鏈結構，涉及半導體測試結構。所述的通孔鏈結構具有N層金屬，從底層到頂層依次標號為M1，M2，…，MN，除底層M1和頂層MN外的其余金屬層Mn的兩端分別通過通孔Vn－1和Vn連接至金屬層Mn－1和Mn+1，其中，2≤n≤N－1，n為整數；頂層金屬MN的兩端均通過通孔VN－1連接至金屬層MN－1；底層金屬M1的至少一端通過通孔V1連接至金屬層M2。采用本實用新型的通孔鏈結構，不僅能一次檢測多個金屬層間的通孔性能，還能快速識別失效通孔的位置，從而有效提高測試效率。
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