本實用新型公開了進氣測溫裝置,屬于半導體技術領域。它包括純化罐本體,所述純化罐本體的底部連通有進氣管,所述純化罐本體側壁上設有測溫管。本實用新型當源氣通過進氣管進入純化罐本體內部,經過純化罐本體純化后,從出氣口排出,當源氣指標偏高時,首先帶來純化罐本體與進氣管的連通處中心溫度升高,此時將測溫管伸入純化罐本體與進氣管相連通的連通處中心位置,再在測量管內插入熱電偶本體,并且時熱電偶本體測量端位于純化罐本體與進氣管的連通處中心,再利用熱電偶本體對純化罐本體與進氣管的連通處中心進行溫度的測量,當純化罐本體與進氣管的連通處溫度升高時,可快速檢測到溫度變化,再采取一些安全措施,避免造成整個純化器失效。
聲明:
“進氣測溫裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)