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流量測量裝置

781   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本發明提供一種流量測量裝置,用于測量流過氣體供給系統的氣體的量,多個器具連接在該氣體供給系統中。根據第二實施例的流量測量裝置包括:配置用于檢測流過氣體供給系統的氣體流量的流量傳感器、以及配置用于求取所檢測的氣體流量的微分的微分器。提供存儲器,器具的氣體消耗的概況能夠與器具的身份相關地存儲在該存儲器中。根據本發明的流量測量裝置還包括第一概況探測器,該第一概況探測器響應于微分氣體流量以從所存儲的概況中搜索對應于所檢測的氣體流量的概況。該裝置還包括第二概況探測器,該第二概況探測器響應于第一概況探測器的失效而從所存儲的概況中找到相應的概況,以分析所檢測的氣體流量,從而確定多個器具中的至少一個的身份。
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