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短路缺陷測試裝置和方法

888 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 09:00:09

本發明提供了一種短路缺陷測試裝置和方法,該裝置包括:若干梳型結構體及兩個接線端;梳型結構體由若干等間距相互平行的直線型金屬連線和與之相連的金屬導線組成;梳型結構體在兩個所述接線端之間交替排列,且相鄰梳型結構體的直線型金屬連線相對間插,相鄰所述梳型結構體的金屬導線分別向同側延伸直到與接線端連接;直線型金屬連線的間插部分的長度范圍是1微米到20微米。在本發明提供的裝置中采用OBRICH技術查找短路缺陷時,可以在保持較長總有效長度的條件下,將短路缺陷定位到兩條間插的直線型金屬連線上,不但增加了檢測的靈敏度和定位精確度,而且縮短了后續使用物理分析手段觀察分析短路缺陷形貌所需的查找時間,提高了失效分析的效率。

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聲明：

“短路缺陷測試裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)