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光學系統薄膜分析方法、設備及存儲介質

876   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:58
本申請公開了一種光學系統薄膜分析方法、設備及存儲介質，該方法包括：根據未加膜的光學系統中不同面型元件上的角度分布，設計添加對應的極紫外多層膜；利用空間光線追跡對每條入射光線在極紫外多層膜中的傳播過程建立等效反射點，并計算等效反射點的坐標，以及計算入射光線經等效反射點反射后形成的出射光線在膜表面上的坐標；對加膜后的光學系統逐面追跡直至出瞳面；在出瞳處計算加膜后的光學系統的成像質量并進行評估。這樣將單條光線在多層膜中反射過程轉化為在等效反射點處反射，完善了平均入射角概念在大入射角度失效的缺陷，不僅能將光在多層膜中復雜的物理光學過程轉化為幾何光學內容，而且精確用于對鍍膜光學系統的分析評估和優化。
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