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無阻擋層金屬層功率器件IGSS失效點定位方法

807   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明公開了一種無阻擋層金屬層功率器件IGSS失效點定位方法，包含：第一步，將失效硅片樣品正面使用保護層保護，第二步，利用藥液去除背面金屬；第三步，使用藥液除去保護層；第四步，除去失效管芯之外的其他無關區域；第五步，打線，將柵極與源極引出；第六步，在樣品背面涂上一層有機層；第七步，對需要測試的失效管芯，利用測試機臺進行測試抓點；第八步，利用機臺打打標點，確認失效點在樣品的相對位置，進一步根據OM的相對位置，利用FIB位移功能確認精確的相對位置；第九步，再把樣品正面朝上，FIB機臺位移至失效點的區域；第十步，針對確認的失效點進行后續FIB結構分析。針對無阻擋層金屬層的功率器件，準確有效地定位IGSS失效點的位置。
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