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芯片失效分析方法和裝置

743   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:31
本發明涉及一種芯片失效定位方法和裝置，通過機臺連接板將光發射顯微鏡與加溫臺盤連接起來，使機臺連接板位于光發射顯微鏡的底座與加溫臺盤的底座之間。同時，在機臺連接板與加溫臺盤之間設置隔熱墊圈；將加溫臺盤裝載于所述光發射顯微鏡的樣品臺所處的位置上；將待測試芯片置于加溫臺盤的臺面上，設定加溫臺盤的溫度范圍，使待測試芯片處于測試溫度下，其中，所述溫度范圍為140℃?160℃；待測試芯片上的亮點為待測試芯片的失效位置。因此，能夠結合加溫臺盤使待測試芯片處于測試溫度下，再通過光發射顯微鏡來定位出待測試芯片的失效位置。
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