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用于失效分析的芯片樣品制作方法

962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:31
本發明實施例公開了一種用于失效分析的芯片樣品制作方法，將輔助支架圍繞芯片設置，在輔助支架的圍繞所述芯片的空間內填充固定粘接劑，能夠保證芯片在研磨過程中不會發生移動，避免研磨不均勻，提高芯片樣品制備成功率；輔助支架的高度要高于引線的最高點高度，可以增加對引線的保護，便于制樣成功后直接進行芯片背面失效分析。進一步的，對芯片背面進行化學研磨時配置的研磨拋光液，可以提升研磨效率，節約研磨時間，而且不會和固定粘接劑進行化學反應，避免反應堆積物引起的芯片破損，最終獲取均勻、完整、光潔的芯片樣品表面，提高了無損制樣的成功率。
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