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新的全自動檢測泵失效的方法

1047   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本發明公開一種新的全自動檢測泵失效的方法，其中，硅片是依次傳送至工藝腔室中以進行制造過程，并且泵是用于為工藝腔室抽取一定的真空度，其特征在于，在上一片硅片在工藝腔室中結束制造后，下一片硅片還沒有進入工藝腔室前，增加泵的底壓檢測的步驟，用于檢測位于工藝周期中的泵的底壓狀態。本發明一種新的全自動檢測泵失效的方法，通過在工藝程式結束前增加設定特定的條件步驟，用來自動檢測泵的底壓，有效地實現泵的全自動底壓檢測，并防止由于泵失效產生的顆粒導致的硅片報廢。從而避免人工停機人工檢測所帶來的資源消耗與機時的浪費，同時也解決傳統的檢測方法的頻率太低所帶來的產能風險。
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聲明：
“新的全自動檢測泵失效的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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