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失效檢測方法以及失效檢測裝置

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
一種失效檢測方法以及失效分析裝置,用于檢測導電體上的缺陷,所述失效檢測方法包括:在待測導電體上設置至少兩個輸出端,且所述輸出端電勢位相等;依次向所述待測導電體上沿預定路徑排列的檢測點輸入恒定的檢測電流;檢測各輸出端的輸出電流;基于各檢測點的位置信息以及各輸出端的輸出電流信息,建立輸出端輸出電流與檢測點位置之間的對應關系;根據所述對應關系判定檢測點是否存在缺陷。本發明所提供的失效檢測方法,能夠精確進行缺陷定位;并且使用帶電粒子束作為檢測電流源以避免照射點的尺寸限制,滿足了小尺寸失效分析的需求。
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