適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統

本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，包括有鎢銅靶板和探針組件。鎢銅靶板為鎢片、無(wú)氧純銅適應層和鉻鋯銅基座焊接而成，鉻鋯銅基座內被中間隔座隔分為兩個(gè)水冷管道，水冷管道與連接銅管、進(jìn)水銅管和出水銅管焊接連接而成。探針組件包括有探針頭、前端陶瓷圈、銅連接件、后端陶瓷圈、彈簧墊圈、頂緊螺釘、接線(xiàn)螺釘和導線(xiàn)，安裝于鉻鋯銅基座內的探針孔中，其中探針頭可采用鎢銅或純石墨結構。本發(fā)明采用集成模塊化結構，充分利用靶板空間，可整體拆裝，無(wú)焊接固定結構，拆卸維修時(shí)對靶板無(wú)損壞的風(fēng)險；探針系統結構簡(jiǎn)單、緊湊，空間分辨率更高；提高了探針系統測量精度。