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適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統

851   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:25
本發明公開了一種適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，包括有鎢銅靶板和探針組件。鎢銅靶板為鎢片、無氧純銅適應層和鉻鋯銅基座焊接而成，鉻鋯銅基座內被中間隔座隔分為兩個水冷管道，水冷管道與連接銅管、進水銅管和出水銅管焊接連接而成。探針組件包括有探針頭、前端陶瓷圈、銅連接件、后端陶瓷圈、彈簧墊圈、頂緊螺釘、接線螺釘和導線，安裝于鉻鋯銅基座內的探針孔中，其中探針頭可采用鎢銅或純石墨結構。本發明采用集成模塊化結構，充分利用靶板空間，可整體拆裝，無焊接固定結構，拆卸維修時對靶板無損壞的風險；探針系統結構簡單、緊湊，空間分辨率更高；提高了探針系統測量精度。
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