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依據樣品空間結構照明的白光干涉測量裝置及方法

1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:31
本發明公開了一種依據樣品空間結構照明的白光干涉測量裝置及方法，本發明在照明系統加入微顯示器并能夠將不同的空間圖案投影在樣品表面；在測量時，依據采集的樣品圖像并結合樣品的特征，對樣品的測量區域進行劃分，形成不同的照明圖案；將照明圖案輸入至微顯示器，對相鄰區域進行非同步的空間照明和白光干涉測量，避免相鄰點之間由于多次反射而引起的相干干涉信號干擾；然后將測量的多組的表面高度分布進行組合，進而獲得整個表面的高度分布。本發明采用空間圖案照明的方法抑制了白光干涉測量微溝槽陣列等樣品時相鄰點之間的干擾，能夠無損快速檢測樣品。
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聲明：
“依據樣品空間結構照明的白光干涉測量裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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