本發明涉及一種鏡頭中光學表面中心間距的非接觸式測量方法及測量裝置,本發明將寬帶光源出射的光通過干涉結構產生干涉信號,對干涉信號進行采樣、圖像重構即可得到鏡頭中光學表面的二維層析圖像,在樣品臂中使用細平行光束作為掃描光束,通過移動光纖準直器來改變相干層析成像的起始位置,進而得到鏡頭中不同深度各個光學表面的特征圖像,最后根據光學表面在其特征圖像中的位置和成像起始位置的移動距離得到兩光學表面中心的距離。本發明具有非接觸無損測量、測量精度高、數據處理簡單的優點,可靈活應用于光學加工、光學裝校及光學檢測等領域。
聲明:
“鏡頭中光學表面中心間距的非接觸式測量方法及測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)