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硅片微裂紋檢測系統

957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:22
本實用新型公開了一種硅片微裂紋檢測系統，包括激光控制器、轉動鏡控制器、激光源、反射鏡、轉動鏡、成像透鏡、線陣電荷耦合元件、推掃驅動裝置、計算機和載物臺，特點是激光源、反射鏡、轉動鏡、成像透鏡、線陣電荷耦合元件依次成光路連接；線陣電荷耦合元件的輸出信號電纜連接計算機；計算機連接激光控制器、轉動鏡控制器和推掃驅動裝置；推掃驅動裝置的步進電機通過滾珠絲杠連接載物臺；被測硅片置于載物臺上。本實用新型通過轉動鏡和推掃裝置的配合，實現對硅片的無接觸、無損傷地激光掃描，通過對獲取的紅外輻射圖像數據的智能處理和分析，即可以判斷硅片的完好性。
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