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SOI晶圓質量檢測方法及系統

718   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:20
本發明提供了一種SOI晶圓質量檢測方法及系統，檢測方法包括如下步驟：提供SOI晶圓，SOI晶圓包括襯底層、埋氧層和半導體層；放置第一壓力探針和第二壓力探針；將第一壓力探針接地，對第二壓力探針施加恒定的第一電壓，對襯底層施加變化的第二電壓；根據不同第二電壓及所對應的第一電流數據提取測試表面遷移率，并與理論表面遷移率進行比對，以評估SOI晶圓的質量。本發明針對SOI晶圓質量的快速評估需求，通過對測試結構進行電流電壓測試，提取表面遷移率，與理論值進行比對，揭示了能夠表征SOI晶圓質量的電學特性，實現了對SOI晶圓質量的無損評估，對于太陽能電池SOI晶圓的工藝開發具有重要意義。
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