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大尺寸硅單晶片表面有機物沾污的紅外鏡反射檢測方法

1060   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:14
本發明公開了一種大尺寸硅單晶片表面有機物沾污的紅外鏡反射檢測方法。本發明使用傅立葉變換紅外光譜儀對300mm大尺寸硅單晶片進行表面檢測，將經堿性拋光液處理后的300mm大尺寸硅單晶片作為樣品放入鏡反射附件樣品臺，對樣品進行紅外掃描，得到鏡反射紅外光譜圖，與表面潔凈的硅單晶片紅外反射圖譜進行對比，根據圖譜峰出現的位置，在波數為3400cm-1-2800cm-1和1700cm-1-1460cm-1位置處出現強吸收，表明硅單晶片表面含有拋光液殘留。本發明方法在整個檢測過程中不需要對樣品進行任何處理，對樣品不會造成任何損壞，是一種先進的無損檢測方法。
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聲明：
“大尺寸硅單晶片表面有機物沾污的紅外鏡反射檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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