本發明公開了一種micro LED芯片的拉曼增強的檢測方法及其裝置。本發明提出的檢測方法中,將光致發光檢測和拉曼檢測結合,光致發光檢測提供發光波長和亮度信息,拉曼檢測給出電學性質,彌補了光致發光檢測準確度不足的問題;采用電子能級共振以及表面等離激元共振增強拉曼技術使得拉曼散射強度有103~108的增強,部分達到了光致發光的強度,從而為快速測量奠定基礎;金屬納米結構不但提高micro LED芯片的發光效率,同時也可以利用表面等離激元增強拉曼散射信號,提高檢測速度;顯微拉曼檢測是一種無損傷測試手段,檢測過程簡單,所需時間短,檢測速度快,且不需要對micro LED芯片進行特別處理,適用于micro LED芯片的巨量檢測。
聲明:
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