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計量級3D超景深顯微系統及檢測方法

928   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:08
本發明公開了一種計量級3D超景深顯微系統及檢測方法，涉及光電無損3D檢測技術領域；該顯微系統包括光學顯微鏡、光譜共焦傳感器或白光干涉傳感器、xyz軸電動位移平臺以及控制模塊和PC處理器；xyz軸電動位移平臺包括xy軸平移臺和z軸升降模塊，光學顯微鏡配置有照明光源和圖像采集單元，控制模塊包括xyz電動控制單元、與光譜共焦傳感器或白光干涉傳感器連接的處理器及電源模塊，圖像采集單元用于采集目標檢測區域的圖像信息，并將圖像信息傳輸至PC處理器；通過實施本技術方案，能夠無損觀察樣品，并能夠超大面積對材料表面的微觀狀態進行拍照、3D真彩色成像及3D精準測量，實現計量級的檢測精度，并保有微觀樣品的細節與真實顏色，具有很好的應用前景。
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