氣體送樣裝置及氣體檢測系統

本實(shí)用新型涉及氣體檢測領(lǐng)域，尤其是對多晶硅生產(chǎn)中尾氣的檢測，公開(kāi)了一種氣體送樣裝置及氣體檢測系統，氣體送樣裝置包括進(jìn)樣器和載氣管道，載氣管道包括形成載氣通道的管壁，管壁上開(kāi)設有進(jìn)樣口；進(jìn)樣器設置于進(jìn)樣口外側，進(jìn)樣器包括筒體、設置于筒體的進(jìn)氣管以及可滑動(dòng)地設置于筒體內的活塞，筒體的壁面上開(kāi)設有進(jìn)氣口；進(jìn)氣管或進(jìn)樣口設置有啟閉裝置，啟閉裝置用于連通或隔斷進(jìn)氣管與載氣管道。氣體送樣裝置的送樣過(guò)程簡(jiǎn)單穩定，無(wú)夾雜無(wú)損失。氣體檢測系統包括了該氣體送樣裝置，氣體通過(guò)預處理系統處理后，定量地輸入至氣體送樣裝置中，無(wú)損失無(wú)夾雜地通過(guò)氣體送樣裝置全部送入檢測設備中，實(shí)驗準確，操作方便。