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透鏡面形偏差檢測裝置及其方法

812   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:04
透鏡面形偏差檢測裝置及其方法,涉及小型球面干涉儀。分光器正下方設置的擴束整形裝置、檢測光源、分光器正右方的光學樣板、正左方的觀察接收屏、分光器正上方的定位圈口、待測透鏡組成,定位圈口管狀體上端面固定有三個鋼球,擴束整形裝置的光束的中心軸線與光學樣板的光軸相交于分光器的接和面上,觀察接收屏垂直于光學樣板的光軸。優點在于:先給定位圈口定位再作檢測,光學樣板代替價格昂貴的標準鏡頭產生干涉的參考波前,實現對透鏡球面曲率半徑的測量,不能長導軌快速無損非接觸在線檢測。定位圈口的鋼球使透鏡基準面或待測面處于同一個三角形的幾何中心垂線上,定位后,待測透鏡時不用進行再調節就可以得到干涉條紋,提高了檢測效率。
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