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低真空氣體的快速無損采樣裝置及采樣方法

1083   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:03
本申請實施例中提供了低真空氣體的快速無損采樣裝置及采樣方法，無損采樣裝置包括：真空獲得組件，用于獲取一定氣壓的真空；采樣組件，用于對待測氣體進行減壓采樣得到采樣氣體；氣體分析組件，用于在真空內對采樣氣體進行氣體分析；以及連接真空獲得組件、采樣組件以及氣體分析組件的控制模塊；其中，氣體分析組件設置開口與所述真空獲得組件相連通。通過本申請的低真空氣體的快速無損采樣裝置及采樣方法可以使采樣得到的氣體含量比例與原有工藝腔室中的氣源一致，實現無損采樣，使最后的氣體成分分析更加準確。
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聲明：
“低真空氣體的快速無損采樣裝置及采樣方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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