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測試多層薄膜結構熱物理性質的無損電測方法

891   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:58
本發明涉及一種測試多層薄膜結構熱物理性質的無損電測方法，包括以下步驟：通過實驗測試得到微加熱器的實際溫度變化；根據溫度和熱流連續性假設求解熱擴散方程，結合熱散射矩陣，得到微加熱器理論溫度變化的解析表達式，解析表達式與通入微加熱器的交流電流的幅值與頻率、多層薄膜結構的各層薄膜厚度、導熱系數及體積比熱關聯；將實驗測試中微加熱器的相關參數作為已知量以及每一交流電流的頻率點下假設的熱物理參數，代入解析表達式，計算得到理論溫度變化；將實際溫度變化和理論溫度變化進行擬合，即可提取出各層的熱物理性質。本發明避免對樣品進行多次磨片、剖光，實現精確快速實時檢測多層結構材料各層熱物理性質。
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