一種無損測量石墨烯薄膜的方塊電阻的探針、探頭及測量儀,涉及石墨烯薄膜方塊電阻測試技術領域。探針包括導電針體和導電彈性針頭,其中,導電彈性針頭與導電針體的一端部連接且導電彈性針頭與導電針體之間能夠導電,以使導電彈性針頭與薄層材料接觸時,導電彈性針頭能夠產生形變以防止破壞薄層材料。無損測量石墨烯薄膜的方塊電阻的探針、探頭及測量儀,適用于對石墨烯薄膜及納米級薄膜進行方塊電阻測試,尤其適合對生長或轉移到基底上的石墨烯薄膜進行無損、穩定、可重復的準確檢測,同時也適合推廣到其它薄膜材料的電導檢測。
聲明:
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