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硅片表面顆粒污染成分無損快速在線檢測方法及系統

833   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:46
本發明公開了一種硅片表面顆粒污染成分無損快速在線檢測方法及系統，先將第一激光照射在硅片表面，將污染顆粒剝離硅片表面；然后在延遲第一預設時間之后利用第二激光將顆粒擊穿，得到激光等離子體；兩束激光之間的延時幾十微秒，從激發顆粒脫離到檢測到顆粒整個過程周期為微秒級；然后在延遲第二預設時間后，采集并分析激光等離子體發出的激光等離子體信號，獲得顆粒的光譜信號進行進一步分析。從上述分析可知，本發明的方法無需對樣品進行預處理，測量周期為毫秒級，能夠滿足集成電路生產環節硅片表面顆粒污染成分的實時快速在線檢測的特點要求，還不會造成硅片的二次污染或損傷，能夠實現對硅片表面污染顆粒成分進行快速實時在線及無損檢測。
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