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制備氧化鐵煙敏薄膜的方法

1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:03
本發明涉及一種氣敏傳感技術領域，特別是一種 制備氧化鐵煙敏薄膜的方法。該方法采用金屬有機 化合物五羰基鐵[Fe(CO)]5作為反應源物質，采用常 壓化學氣相淀積法進行淀積，分別制備出摻雜和非摻 雜氧化鐵煙敏薄膜。該薄膜在煙霧I級的濃度下，靈 敏度可達52，而在1000ppm的酒精、液化石油氣，甲 烷氣體和氫氣的靈敏度僅為7.4、2.7、2.7和4.0，其靈 敏度高，選擇性好，響應恢復時間快等特點均優于已 商品化的離子敏感煙探測器和燒結型氣敏元件，具有 廣泛的應用前景。
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“制備氧化鐵煙敏薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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