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電光裝置的制造方法，以及電光裝置

1071   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:59
本申請一種用于制造電光裝置，特別是制造光電探測器(6)或電光調制器(6)的方法，其中設置波導(3)(S1)，優選地通過施加涂層材料的步驟，制造在所述波導(3)的至少一部分上方延伸的平坦化涂層(7)(S2)，所述平坦化涂層(7)設有旋涂玻璃涂層(9)(S3)，至少在所述旋涂玻璃涂層(9)的區域中，優選地進行干化學蝕刻處理，可選地，將提供具有旋涂玻璃涂層(9)的平坦化涂層(7)和蝕刻處理的步驟重復至少一次(S5、S6)，并且在平坦化涂層(7)上或上方和在波導(3)上方設置有源元件(10)(S7)，所述有源元件(10)包括至少一種材料或由至少一種材料組成，所述材料吸收至少一種波長的電磁輻射，并且由于吸收和/或材料的折射率隨電壓和/或電荷和/或電場的存在的變化而變化，所述材料產生電光信號。
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