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用于大面陣混成式焦平面的銦柱結構及制作方法

683   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:56
本發明屬于半導體技術領域，具體涉及一種用于大面陣混成式焦平面的銦柱結構及制作方法，該結構包括探測器芯片基板和銦柱；銦柱設置在基板上；制作方法包括：用蒸發?光刻的方式制作一層與銦高浸潤的UBM金屬打底層；在UBM打底層上旋轉涂布一層高分子聚合物掩模并用退火的方式固化；將高分子掩模層蓋住UBM打底層的區域刻蝕掉，形成銦柱模型孔；采用雙層厚膠剝離的方式在回溶區域上制作一塊底面銦層；去掉銦柱表面氧化層后，通過在有機溶劑中高溫加熱的方式進行回溶整形；最后用化學清洗劑將下面的高分子聚合物去掉，形成銦柱；本發明通過調節銦柱模型孔的大小和深度，獲得形貌、大小、高度可控的銦柱。
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