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Tb、Mn 和Ni 三元共摻雜的低漏電流BiFeO3 薄膜及其制備方法

1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
一種Tb、Mn和Ni三元共摻雜的低漏電流BiFeO3薄膜及其制備方法，將硝酸鉍、硝酸鐵、硝酸鋱、醋酸錳和乙酸鎳按（0.91-0.97）:（0.96-x）:（0.08-0.14）:0.04:x的摩爾比溶于由乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，然后攪拌均勻得到BiFeO3前驅液；其中，x=0.01～0.02；將BiFeO3前驅液旋涂在FTO/glass基片上制備濕膜，將濕膜烘烤得干膜，然后在550℃退火8～13min，得到晶態BiFeO3薄膜，待晶態BiFeO3薄膜冷卻后，再重復使晶態BiFeO3薄膜達到所需厚度，即得到Tb、Mn和Ni三元共摻雜的低漏電流BiFeO3薄膜。本發明設備要求簡單，適宜在大的表面和形狀不規則的表面上制備薄膜，且化學組分精確可控，并且能夠提高薄膜的電性能，BiFeO3在350kV/cm的測試電場下漏電流密度仍保持在10-5A/cm2以下，在100kHz的測試頻率下介電常數為240～270。
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