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四元LED芯片干法蝕刻方法

996   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明一種四元LED芯片干法蝕刻方法，屬于LED蝕刻技術領域；解決的技術問題是提供了一種四元LED芯片干法蝕刻方法，在偏壓功率、電感耦合等離子體和蝕刻時間設定為特定值時調整氣體流量,使被蝕刻產品的均勻度降低，提高產品質量；采用的技術方案為：一種四元LED芯片干法蝕刻方法，按照以下步驟進行：將偏壓功率、電感耦合等離子體功率和蝕刻時間設定為特定值，氣體流量設定為15±1sccm；將帶有掩膜的待蝕刻材料放入反應腔內；將蝕刻完成的材料取出，置入化學溶液中去除掩膜；將材料放入測量儀，測試材料多個位置的蝕刻深度；本發明可廣泛應用于蝕刻技術領域。
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聲明：
“四元LED芯片干法蝕刻方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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