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日盲紫外光敏晶體管的制備方法

744   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:15
本發明公開了一種日盲紫外光敏晶體管的制備方法，包括如下步驟：步驟1：將襯底進行預處理后，通過光刻剝離技術曝光顯影出柵極小島區域，并在所述柵極小島區域蒸鍍導電膜；步驟2：再通過光刻剝離技術曝光顯影出第一堆疊小島區域，并在所述第一堆疊小島區域化學氣相沉積絕緣層后，磁控濺射光敏層；步驟3：再通過光刻剝離技術曝光顯影出第二堆疊小島區域，并在所述第二堆疊小島區域磁控濺射背溝道層后，蒸鍍叉指電極層。采用背溝道刻蝕方法和叉指電極結構在保證光電探測范圍的條件下，增強了器件電學性能，提高了光電探測特性，器件制備工藝簡單，在紫外探測領域具有良好應用前景。
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