非接觸模式與接觸模式協同工作的原子力顯微鏡控制方法,解決現有兩種工作模式組合方式存在無法原位表征的問題,屬于原子力顯微鏡技術。本發明的原子力顯微鏡的懸臂梁帶動探針在樣品上方,方法包括:S1、原子力顯微鏡的懸臂梁帶動探針在樣品上方設定距離處,激發傳感器激發懸臂梁帶動探針諧振,測試長程性能;S2、激發傳感器停止激發,驅動樣品向上運動或探針向下運動進而使樣品表面緊貼上方的探針,激勵傳感器產生激勵信號作用于樣品和/或探針,測試樣品的物理化學特性;S3、激勵傳感器停止產生激勵信號,同時樣品或探針回到原位,驅動樣品或探針移動使原子力顯微鏡的懸臂梁帶動探針移動至下一個測試位置點,轉入S1。
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