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大面積光學質量合成多晶金剛石窗戶

1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:31
本發明涉及一種多晶化學氣相沉積的(CVD)金剛石晶圓，其包括：最大線性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室溫(標稱的298K)下測量的、多晶CVD金剛石晶圓的至少中心區域上的以下特征中的一個或兩個：在10.6μm下吸收系數≤0.2cm-1；和在145GHz下介電損失系數為tanδ≤2×10-4，所述中心區域是圓形的，以多晶CVD金剛石晶圓的中心點為中心，并且具有的直徑為多晶CVD金剛石晶圓的最大線性尺寸的至少70％。
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