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制絨/刻蝕溶液的循環利用方法

1112   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:29
本發明公開了一種制絨/刻蝕廢液的循環利用方法,含以下步驟:(1)測試制絨/刻蝕廢液中H2SiF6的濃度,根據計量比加入化學試劑與H2SiF6反應生成氟硅酸鹽沉淀,過濾回收氟硅酸鹽沉淀;(2)取濾液測試其中亞硝酸和/或氮氧化物的濃度,加入氧化劑將亞硝酸和/或氮氧化物轉化為硝酸;(3)測試制絨/刻蝕廢液中各組分的濃度,根據晶體硅制絨/刻蝕所需的化學配比,補充加入各組分,使制絨/刻蝕溶液能夠重復利用。該方法能夠將制絨/刻蝕廢液重新回收利用,大大降低了氟排放以及氮氧化物排放,具有巨大的經濟性和環保性,具有較大的推廣應用價值。
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“制絨/刻蝕溶液的循環利用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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