合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 加熱腔室及半導體加工設備

加熱腔室及半導體加工設備

1108   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:38
本發明公開了一種加熱腔室及半導體加工設備,加熱腔室中設有能縱向移動的載板,用于承載被加工基片,載板的側面設有前后貫通的凹槽,加熱腔室的側壁上設有熱電偶,熱電偶的前端伸入到凹槽中,并通過彈性裝置壓緊,使熱電偶可以緊密的接觸載板,所測量的溫度就是載板的溫度,誤差較小;熱電偶藏于凹槽之中,還可以避免加熱燈管的干擾,測溫準確?？梢詰迷诘入x子體增強化學氣相沉積設備、太陽能電池生產設備、半導體芯片制造設備、薄膜晶體管液晶顯示面板制造設備等半導體加工設備中。
登錄解鎖全文
聲明：
“加熱腔室及半導體加工設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：基于熱管的恒溫裝置
下一個：氫氣產生裝置及控制氫氣產生量的燃料電池發電系統

與 “加熱腔室及半導體加工設備” 相關技術

? 磨粉機原料篩分結構
? 回轉式污水處理用磁分離設備
? 往復式刮吸泥機防出軌結構
? 具備反沖洗功能的玻璃鋼污水處理池
? 沉淀池用刮吸泥機
? 絮凝沉淀池疊加濾池構筑物
? 應急污水處理系統
? 防止泥屑積聚的吸泥裝置
? 基于中心傳動的管式吸泥機及其運行方法
? 移動吸泥機的簡易懸吊機構

相關化學分析設備推薦

200噸電纜臥式拉力機
熱球式風速儀
英思科固定式多氣體檢測儀
高低溫萬能試驗機-門式
水平垂直燃燒試驗機
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?磨粉機原料篩分結構
?回轉式污水處理用磁分離設備
?往復式刮吸泥機防出軌結構
?具備反沖洗功能的玻璃鋼污水處理池
?沉淀池用刮吸泥機
?絮凝沉淀池疊加濾池構筑物
?應急污水處理系統
?防止泥屑積聚的吸泥裝置
?基于中心傳動的管式吸泥機及其運行方法
?移動吸泥機的簡易懸吊機構

報名參會
更多+

2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX