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淺溝渠隔離結構的制造方法

810   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:37
一種淺溝渠隔離結構的制造方法,于一基底上依序形成墊氧化層、罩幕層、介電抗反射涂布層與頂蓋氧化層,然后于基底中形成一溝渠。接著,再于溝渠表面形成襯氧化層,且于基底上形成絕緣層并填滿溝渠。隨后以罩幕層作為研磨終點,以使用光學終點偵測系統作終點偵測的化學機械研磨制作工藝去除罩幕層上的絕緣層、介電抗反射涂布層與頂蓋氧化層,其中罩幕層的厚度控制在第一固定范圍,且介電抗反射涂布層的厚度控制在第二固定范圍,使得光學終點偵測系統所使用的光源可以產生具有最大的反射光信號。然后再去除罩幕層與墊氧化層。
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