合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 晶圓表面平坦化的方法

晶圓表面平坦化的方法

866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:37
本發明公開了一種晶圓表面平坦化的方法,包括,提供表面具有介質層的晶圓,包括中心區域以及環繞中心區域的邊緣區域;去除邊緣區域部分厚度的介質層;對于整個晶圓表面的介質層進行化學機械研磨,其中所述邊緣區域為試片研磨后介質層厚度大于蝕刻通孔深度的介質層區域,邊緣區域介質層去除厚度大于或等于通過試片測得的化學機械研磨后晶圓中心區域的介質層和晶圓邊緣區域的介質層的平均厚度差距。本發明晶圓表面平坦化的方法使得晶圓表面的介質層在經過化學機械研磨之后,晶圓邊緣區域的介質層厚度與晶圓中心區域的介質層厚度差距縮小,從而提高了晶圓表面平坦化的程度。
登錄解鎖全文
聲明：
“晶圓表面平坦化的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：用于超控車輛限制系統的系統和方法
下一個：磷酸鐵鋰動力電池剩余容量的估算方法

與 “晶圓表面平坦化的方法” 相關技術

? 高強度耐腐蝕銅合金棒
? 光伏電池片測試探針排
? 鋁合金鑄造檢測裝置
? 便攜式鋁合金壓鑄件質量檢測工裝
? 鉛合金制備用帶電磁攪拌裝置的熔煉爐
? 用于鈦合金鏈條的生產工藝及裝置
? 用于檢測合金材料的檢測儀
? 核級合金鋼管道焊接接頭用超聲檢測方法
? 高品質鈦合金棒材內部缺陷無損檢測設備
? 高溫合金材料擴散和性能測試系統

相關化學分析設備推薦

火花直讀線束拉伸檢測機
土壤墑情氣象多參數監測系統 土壤監測儀
微機控制隔熱鋁型材高低溫試驗機
顯微硬度計
微機控制電子試驗機
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?高強度耐腐蝕銅合金棒
?光伏電池片測試探針排
?鋁合金鑄造檢測裝置
?便攜式鋁合金壓鑄件質量檢測工裝
?鉛合金制備用帶電磁攪拌裝置的熔煉爐
?用于鈦合金鏈條的生產工藝及裝置
?用于檢測合金材料的檢測儀
?核級合金鋼管道焊接接頭用超聲檢測方法
?高品質鈦合金棒材內部缺陷無損檢測設備
?高溫合金材料擴散和性能測試系統

報名參會
更多+

第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025年07月24日 ~ 26日
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX