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鎢鉬合金旋轉靶材的生產方法

1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:08:39
一種鎢鉬合金旋轉靶材的生產方法，包括以下步驟：首先選取鎢粉和鉬粉并進行混料，混料完成后裝入模具進行壓制成坯，然后經燒結后脫模，形成粗品，制備的粗品經機械加工、退火處理、化學物理檢測和超聲清洗后形成靶材，配制鎢鉬噴涂粉末，將鎢鉬噴涂粉末噴涂到靶材的腔體內形成產品，本發明工藝簡單，不僅大大了降低了旋轉靶材的生產成本，而且制備的靶材具有組織均勻晶粒細小、高耐熱沖擊等優良性能，從而適用于大面積TFT薄膜的生產。
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