本發明公開了一種具有鈣鈦礦結構的鈦酸鍶鉍微波介電可調薄膜的制備方法,采用溶膠-凝膠工藝,以分析純的醋酸鍶、硝酸鉍和鈦酸四丁酯為起始原料,冰醋酸和乙二醇乙醚為溶劑,乙酰丙酮為穩定劑,合成化學組成為 BixSr1-1.5xTiO3的鈦酸鍶鉍溶膠先體;利用快速熱處理工藝技術,在基片上制備出具有鈣鈦礦結構的鈦酸鍶鉍薄膜。利用鉍對鈦酸鍶薄膜的微觀結構改性,使薄膜在不降低可調特性的同時降低薄膜的介電損耗,提高薄膜的品質因子,從而得到新型的、可實用的微波介電可調薄膜材料。
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