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觸摸屏用ITO靶材的生產方法

1235   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:01:26
一種觸摸屏用ITO靶材的生產方法，涉及一種ITO靶材的生產方法，以4N級（99.99%）銦錠和分析純級結晶四氯化錫為原料，按配比計算出需要的用量，通過化學共沉淀、脫水、煅燒及球磨的現有工序制備In2O3 : SnO2=97 : 3（wt%）、純度≥99.99%、粒度為0.6～1.0μm的ITO粉；再對ITO粉經冷壓成型為冷壓坯；再將冷壓坯裝在石墨模具內置于真空-氣氛熱壓燒結爐中燒結，得到ITO靶材，本發明制備的ITO靶材完整致密無內部裂紋，本發明方法簡單，便于推廣使用。
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