本發明屬于納米制造、超精密加工、特種加工技術領域,提供了一種石英半球諧振子納米制造裝備。在原有的數控機床基礎進行改造。該裝備包括:數控微納移動旋轉平臺、分度裝置、聚焦離子束裝置、化學機械拋光裝置,激光干涉儀檢測成像裝置,輔助功能裝置等。本裝備可以實現一次裝夾,同時完成磨削,超精密磨削,化學機械拋光,表面精度測量和離子束加工修型等幾道工序,涉及到從宏觀的材料去除到微觀的納米材料加工,實現的半球陀螺宏微納一體化制造加工,使其達到表面粗糙度,圓度,圓柱度均小于100nm。
聲明:
“石英半球諧振子納米制造裝備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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