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制備螺旋狀氮化硅陶瓷晶須的方法

810   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:07
一種利用化學氣相沉積法制備螺旋狀氮化硅陶瓷晶須的方法,涉及微力學彈性器件、發光材料、旋光材料和復合材料。采用一水平管式高溫電阻爐為反應儀器,在通入一定流量氨氣的條件下,將一定配比混合均勻的硅粉和二氧化硅粉體為反應物,置入其中進行高溫處理,當加熱溫度在700℃-1400℃、保溫時間在0.5-10H時,即可獲得大量螺旋狀氮化硅陶瓷晶須。結果分析表明所制備的螺旋狀氮化硅陶瓷晶須表面光滑、無雜質,而且大部分呈規則卷曲狀結構,卷曲長度可達數毫米。此制備方法簡便易行,產率高,是獲取螺旋狀氮化硅陶瓷晶須的一個有效途徑,具有良好的應用前景。
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