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顯影液控制系統

713   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:31:48
本發明公開了一種顯影液控制系統,其包括有通過管道與顯影液儲槽單元連通的化學和水供應單元,用于檢測所述顯影液儲槽單元內顯影循環液中顯影劑濃度與光刻膠濃度的顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元,在連通所述化學和水供應單元與所述顯影液儲槽單元之間的管道上增設有控制單元,所述控制單元分別通過管道及信號數據傳輸線與所述顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元連通,對所述顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元進行校準處理,并根據所述顯影劑濃度檢測單元、紫外吸光檢測單元反饋的信息控制所述化學和水供應單元向所述顯影液儲槽單元輸入去離子水或/和濃純顯影液。具有實時監測與控制的功能,還具有校準功能,可以確保產品的合格率。
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“顯影液控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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