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3D疊層芯片封裝器件的芯片分離方法

1052   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:33
本發明公開了一種3D疊層芯片封裝器件的芯片分離方法，包括如下步驟：聲學掃描顯微檢測3D疊層芯片封裝ULSI試樣的內部結構，確定所需研磨區域及其面積；用熱熔蠟將3D疊層芯片封裝ULSI試樣固定在研磨臺上；研磨：根據上述研磨區域的面積，選擇研磨鉆頭、研磨力度和研磨方向，去除封裝材料和芯片，研磨至目標芯片表面覆蓋的保護層；采用化學腐蝕法，去除上述的保護層。本發明以研磨為主，化學腐蝕為輔；研磨針對特定局部區域進行去除，不損傷下層芯片內部結構及其鍵合引線；化學腐蝕法將目標芯片表面上覆蓋的保護層或芯片粘結劑去除，目標芯片暴露；所得的目標芯片內部結構和芯片上的鍵合引線完整不受損，方便后續的電測分析。
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