本發明公開了一種法布里-珀羅諧振腔共振發光懸臂梁系統,它主要由光電轉換元件、基底、FABRY-PEROT諧振腔固定反射鏡、諧振腔內光源、樣品室、FABRY-PEROT諧振腔動反射鏡、諧振腔外光源、激勵用上壓電陶瓷、硅微懸臂梁、激勵用下壓電陶瓷和探針組成。本發明的FABRY-PEROT諧振腔共振發光懸臂梁系統能夠主動發射振動調制的變化諧振頻率光;可以檢測待測樣品光譜成分以及外界因素引起的懸臂梁撓曲、變形的能力。另外,還可應用于化學成分、分子生物樣品傳感、檢測,超精密機械表面輪廓測量,物理譜成份分析等多種技術領域。
聲明:
“法布里-珀羅諧振腔共振發光懸臂梁系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)