本發明屬于半導體薄膜技術領域,具體涉及一種BiOCl二維材料的制備方法。該方法選擇氯化鉍作為鉍源,并在距離鉍源一定位置放置襯底,在氬氣和氧氣的混合氣中對所述鉍源進行加熱處理后,冷卻至室溫,以得到BiOCl二維材料。本發明采用化學氣相沉積法為制備方法,該制備方法工藝簡單、成本低廉,可以獲得單一相的BiOCl二維材料。
聲明:
“BiOCl二維材料及BiOCl光電探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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