本發明公布了一種微納米測量設備用高精度高靈敏彈性簧片的制作方法,其特征在于:采用化學蝕刻的方法制作高靈敏彈性簧片,包括設計圖案、菲林片打印、鈹銅片表面處理、貼覆感光膜、加固感光膜、曝光、顯影、腐蝕和脫膜九個步驟。本發明的制作方法與傳統方法相比,成本較低、方法簡單、易于實現、易于加工復雜圖案的彈性簧片;且采用本發明方法加工出的彈性簧片的性能參數(如圓度、直線度、邊緣粗糙度等參數)優于采用傳統方法加工出的彈性簧片。
聲明:
“微納米測量設備用高精度高靈敏彈性簧片的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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