本實用新型公開了一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置,包括塑料袋結構,所述塑料袋結構包括用于在其內部放置硅片的具有防腐蝕性的塑料袋,所述塑料袋的頂端為用于裝入或取出所述硅片的開口端,所述開口端設置有能夠將所述開口端密封的封口邊,所述塑料袋的底端設置有連通所述塑料袋的內部的抽注管,所述抽注管的底部設置有密封塞;該硅片鈍化裝置能夠解決現有技術中的化學鈍化法產生的尋邊困難、容易損害儀器、有污染、測試后處理不便、無法控制鈍化液體積的問題。
聲明:
“用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)